錫企成功填補(bǔ)國內(nèi)半導(dǎo)體真空閥門領(lǐng)域空白。近日，無錫經(jīng)開區(qū)企業(yè)無錫索奧精密閥門有限公司自主研發(fā)的半導(dǎo)體真空鐘擺閥完成技術(shù)攻關(guān)，已交付國內(nèi)頭部客戶并進(jìn)入驗(yàn)證階段，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化進(jìn)程注入新動能。

據(jù)介紹，鐘擺閥作為半導(dǎo)體真空閥門中的高端產(chǎn)品，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造前端刻蝕與沉積工藝設(shè)備?！耙酝@類產(chǎn)品幾乎全部依賴從瑞士、美國進(jìn)口?！彼鲓W閥門運(yùn)營副總褚倩透露，這個“隱匿”于設(shè)備“心臟”的核心部件，國內(nèi)此前鮮有企業(yè)涉足研發(fā)。在索奧閥門展廳，記者見到了這款特殊閥門，產(chǎn)品僅成人兩個拳頭大小，卻直接影響設(shè)備加工出的晶圓品質(zhì)。而晶圓作為芯片核心原材料之一，其質(zhì)量對芯片性能至關(guān)重要。

褚倩解釋，晶圓制造的工序多在刻蝕與沉積工藝設(shè)備內(nèi)部的“工作間”中，過程中，設(shè)備會依據(jù)不同的工序，往其中充入不同的稀有氣體，這便導(dǎo)致“工作間”內(nèi)的壓力常常變化。想要高質(zhì)量的晶圓，壓力穩(wěn)定的制造環(huán)境至關(guān)重要。

如何讓“變”成為“不變”？這便需要閥門根據(jù)實(shí)際情況快速反應(yīng)、及時調(diào)節(jié)，達(dá)到精準(zhǔn)“穩(wěn)定全場”的效果。若想讓閥門的調(diào)節(jié)更敏銳、更精準(zhǔn)，則需要依靠軟件算法為其打造精細(xì)化的控制系統(tǒng)。而算法如何編寫，便是其中最大的難點(diǎn)。

為了盡快解決這個難題，索奧閥門選擇與擁有十余年技術(shù)積淀的韓國閥門公司深度合作，將韓方成熟的閥門控制技術(shù)與中方團(tuán)隊(duì)快速落地能力高效嫁接。在此基礎(chǔ)上，企業(yè)先完成了真空閥門中的蝶閥、插板閥研發(fā)并成功推向市場，如今攻克難度更高的鐘擺閥，實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)市場“零”的突破。與此同時，索奧閥門也精心搭建了自己的中國研究團(tuán)隊(duì)，引進(jìn)了5名資深行業(yè)專家。如今，企業(yè)蝶閥的控壓精度已穩(wěn)定在誤差不超過0.1%的國際先進(jìn)水平。目前，這些閥門的生產(chǎn)與研發(fā)，都在無錫經(jīng)開區(qū)完成。

值得關(guān)注的是，在“產(chǎn)業(yè)園”變身“產(chǎn)業(yè)鏈”的太湖灣信息園，索奧閥門自去年11月入駐后，通過園區(qū)的牽線搭橋，與園內(nèi)上下游企業(yè)建立了密切聯(lián)系。在園區(qū)舉辦的半導(dǎo)體沙龍活動中，企業(yè)結(jié)識了同園的做微特電機(jī)的無錫奕帆微電子有限公司?！拔覀兊漠a(chǎn)品正好需要配套電機(jī)?！瘪屹换貞?，雙方經(jīng)洽談一拍即合。目前奕帆微的產(chǎn)品已通過索奧閥門送樣驗(yàn)證，未來有望批量應(yīng)用于系列閥門產(chǎn)品。此外，在園區(qū)“撮合”下，索奧還與園內(nèi)一家下游的沉積設(shè)備企業(yè)搭上線，雙方正探討深度合作。

“園區(qū)幾乎每兩個月就會組織一次產(chǎn)業(yè)對接活動?！碧承畔@企業(yè)服務(wù)部相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，通過日常走訪掌握企業(yè)情況與訴求后，園區(qū)會針對性邀請投融資機(jī)構(gòu)、產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)參與對接。就在6月底，無錫經(jīng)開區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)家沙龍?jiān)谔承畔@舉辦，索奧、海浥等十余家集成電路裝備企業(yè)，隱秀資本等投資機(jī)構(gòu)及交通銀行無錫分行等金融機(jī)構(gòu)參會。