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產(chǎn)品名稱

產(chǎn)品簡單介紹

半導體PFA焊接接頭

隨著半導體制造工藝的不斷精進，高純度材料的應用成為確保芯片良率的關鍵。PFA(全氟烷氧基樹脂)因其卓越的耐化學性、高純度和低析出特性，被廣泛應用于半導體設備的流體傳輸系統(tǒng)中。

半導體PFA擴口接頭

隨著半導體工藝向5nm及以下節(jié)點邁進，對高純度流體輸送系統(tǒng)的要求愈發(fā)嚴苛。PFA擴口接頭憑借其獨特的性能優(yōu)勢，成為蝕刻、清洗等關鍵工藝環(huán)節(jié)的首選連接方案。

半導體高純PFA閥門

‌隨著半導體制造工藝不斷向5納米及更先進節(jié)點邁進，對高純PFA閥門的性能要求呈現(xiàn)出指數(shù)級提升。在極紫外光刻(EUV)和原子層沉積(ALD)等關鍵制程中，閥門不僅需要維持10ppt級別的超低金屬離